本设备是进行坩埚表面清洗的专业设备,产线包括:低压预清洗 -酸洗-高压清洗等部分。
整条线的传输采用聚四氟滚筒传输方式,进出隔断门采用双层密封卷帘门设计,干湿分离,有效阻止水气外泄。
高压清洗:龙门清洗机构,实现坩埚全方位清洗提高清洗效率。清洗压力2-10Mpa可根据工艺参数可调节高压预清洗。
为对高压管在长时间运行出现破损后人员发现不及时情况,高压泵增加压力检测、在高压管破裂或者施压的时候设备停止生产,设备报警提示操作人员。
酸洗:根据不同坩埚设置不同的冲淋参数,如时间、压力、行程、等,及冲淋时间与转速可不同时进行酸洗单元,为应对人工在加酸时出现安全隐患,在酸洗设备设有自动加酸泵,在需要加酸时人工打开阀门加酸,无需人工手动加酸避免了安全风险