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BS05D-静置缓冲单元
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产品详情
本设备是坩埚完成高压清洗后,进入烘烤前静置工位,坩埚上的残余水分会流入静置工位的水槽内,方便与烘烤门打开瞬间,热气可将坩埚部分水汽进行蒸发,为进入烤箱做好准备。
参数
适用产品
:
28-42英寸石英坩埚
外形尺寸
:
2000*2050*2200(mm)
规格型号
:
BS05D
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