BLQ100B-冷却移载单元

本设备是满足毛坯石英坩埚产品冷却，搬运移载专用设备。该设备由抱抓开闭旋转机构、抱抓升降机构、X轴抱抓平移机构、Y轴切换机构、主体框架支撑机构、电气系统等组成。