测量点位:直臂、R角、底部
可测范围:外径:12~50英寸(300~1270mm)
深度:坩埚表面以下20mm
视野:2.4mm*4.2mm
检测最小气泡直径:0.02mm
重复精度:
深度:±0.2mm 气泡直径:±5um 透明层厚度:±0.3mm